事業紹介｜超精密加工事業｜株式会社テージー

超精密加工事業ULTRAPRECISION MACHINING

セラミックスの超精密加工事業を行っております。
弊社は、業界トップクラスの精密加工技術を有しており、半導体製造装置部品、液晶関
連部品等の製造に応用しています。中でも半導体露光装置用のピンチャックは高精度の
平面度仕上げ（平面度0.2µm以下）に成功し、幅広い半導体メーカー様に採用されています。
なお、新作だけでなく、現在使用されているピンチャックの再生にも対応しています。

各露光装置メーカー対応
の半導体用ピンチャックの
製造・再生を行います。
非接触型レーザー干渉計に
よる正確で精密な平面度測定
を実現しています。
セラミックスの平面度、
平行度、直角度、粗さ等の
仕上げ加工に高い技術力で
ご要望にお応えします。

この事業を行っている営業所

東郷工場

〒470-0072 愛知県愛知郡東郷町大字春木字下鏡田446-185

0561-67-0797
0561-67-0805

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